使用X射线能谱仪EDS进行成分分析时，一般有三种基本的工作模式，分别为：点测、线扫、面扫。根据不同的测试要求与目的，可以选择相应的分析模式。今天重点来讲一下TEM的mapping和SEM的mapping.

TEM的mapping 和SEM 的mapping模式是一样的，都是将能谱EDS组合在一起使用的。

TEM的放大倍数要比SEM的高,当然两者的成像原理也是不同的，SEM是电子束激发出表面次级电子，而TEM则是穿透试样，所以TEM样品要求很薄,只有几十nm, TEM一般能放大几百万倍，而SEM只有几万倍。SEM通常看材料的表面形貌、缺口断面，TEM则可以观看材料的内部结构和形貌。线扫描，用来表示某类元素的变化趋势，一般在相界面或过渡区进行线扫描，主要了解一条线上各个点的元素种类和含量；面扫描就是整个面的元素分布，可以用来估计合金组成或某些元素的富集区，主要了解元素的区域分布；线扫和面扫就是元素种类和含量的一维和二维显示，只能定性的分析元素的分布情况，点扫比线扫和面扫更准确，可基本定量分析元素。

TEM的mapping和SEM的mapping都是属于面扫描

面扫描是使电子束在试样表面观察区扫描，所定义的感兴趣元素在显示器上以不同颜色的点分别显示出分布图像，并且与采集的二次电子图象相对应，直观明了，点越多、亮度越亮，说明元素含量越高。面分析的灵敏度比点、线分析都低，面扫描需要较长时间收集信号,才能得到比较好的效果，它也是一种定性分析。观察试样表面元素分布时，元素含量高的区域，显示的亮点多、亮度高，但背底噪音也会产生少量亮点，无法和低含量元素区分。因为面扫描灵敏度低，分析时往往采用大的探针电流，特别对轻元素，如果探针电流小，特征X射线信号很弱，无法显示元素分布。做面扫描的试样要求表面光滑。它常用于材料中异物杂质、相分布和元素偏析快速检验。