【国家标准】标准号：GB T 36969-2018
中文名：纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
范围：
本标准规定了使用原子力显微术(AFM) 测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。
本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
原理：
首先利用原子力显微镜( AFM )测试得到包含纳米薄膜台阶在内的微观形貌。原子力显微镜是使用针尖接触样品表面,用同距离有关的针尖与样品间相互作用力作为反馈, 反馈系统根据检测器电压的变化不断调整针尖或样品z轴方向的位置, 通过测量检测器电压对样品扫描位置的变化, 从而得到样品的表面形貌图像(见GB/T31227)。然后从形貌图中计算出薄膜和其基底的高度差数值, 即得到了薄膜的厚度。
发布时间：2018-12-28
实施时间：2018-12-28
颁发部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
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