1.扫描电子显微镜原理--简介
扫描电子显微镜，英文名是SEM，是扫描电子显微镜的缩写扫描电子显微镜（SEM）主要是通过二次电子信号成像来观察样品的表面形貌，即用非常窄的电子束扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，主要是样品的二次电子发射
2.扫描电子显微镜原理--结构
扫描电子显微镜由真空系统、电子束系统和成像系统三部分组成
真空系统主要包括真空泵和true空柱True空柱是密封的圆柱形容器真空泵用于产生真真空空柱
电子束系统-电子束系统由电子枪和电磁透镜组成它主要用于产生能量分布窄、具有一定电子能量的电子束进行扫描成像电子枪用于产生电子，主要包括场发射效应和热发射效应
成像系统：电子通过一系列电磁透镜形成光束后，撞击样品并与样品相互作用，产生二次电子、背散射电子、欧革电子、X射线等一系列信号所以我们需要不同的探测器，如二次电子探测器，X射线能谱分析仪，来区分这些信号，以获得所需的信息
3.扫描电子显微镜原理
扫描电镜的工作原理主要是基于二次电子成像扫描电镜的工作原理是：电子枪灯丝发射的直径约为20-35μm的电子束经阳极1-40kv高压加速到镜筒，经第一、第二凝聚透镜和物镜会聚它被还原成直径约为几十埃的窄电子束，并发射到样品中
同时，偏转线圈使电子束在样品上形成扫描光栅电子束与样品之间的相互作用会产生各种各样的信号，其中最重要的是二次电子控制镜头筒入射电子束扫描线圈的电路还控制显像管电子束在屏幕上的扫描这样，就像电视屏幕上的图像一样，一个接一个地形成图像
图像是三维图像，反映了标本的表面结构为了使标本表面在固定和脱水后产生二次电子，标本需要喷涂一层重金属粒子，重金属在电子束的轰击下发出二次电子信号
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