扫描电镜EDS能谱数据图怎么看？

铄思百检测-EDS能谱仪

1.简介：

EDS，是英文Energy Dispersive Spectrometer的简称，中文为X射线能谱分析。现在已经是扫描电镜SEM的标配之一，主要用来分析试样的元素成分和含量，也就是常规说的定性和半定量分析。实际使用中因电镜设备不同及相关处理软件的差异，可以确定样品中的大部分元素，只在分析的元素含量上会有差异。

2. 数据分析：

一张EDS能谱图，横坐标表示的是是所激发元素的加速电压，纵坐标是能谱仪所收集的反射粒子数。如果试样所呈现的谱简单，如只有很少的峰并且峰与峰之间没有叠加，设备就能很好的自动识别各峰。反之，谱越复杂越容易识别错误。比如，Al的Kα峰与Br的Lα峰叠加，容易识别不出来。当设备自动识别不能满足要求时就需要手动调整能峰，去掉不需要的峰。分析人员要熟悉分析试样，熟悉常见元素的重叠峰，（如S的Kα与Mo的Lα重叠）、杂峰。更要知道在制作样品及测试过程中会造成哪些仪器假峰进行综合分析判别。

以上是扫描电镜SEM EDS能谱仪的数据的基本介绍。