xps常见问题与解答

2021-02-26
铄思百检测

铄思百检测可为您提供X射线光电子能谱技术(XPS测试)服务

在做X射线光电子能谱XPS测试时,铄思百检测老师在与很多同学沟通中了解到,好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS测试有了解,但是对于其原理还属于小白阶段,针对此,铄思百检测整理了XPS测试常见问题,希望可以帮助到做科研的小伙伴们;


问题一:所测窄谱元素,含量比为啥跟预期不符?

1.样品表面被污染

2.样品分布不均匀

3.该元素不分布在样品表面,即不在XPS所测微区范围内

4.XPS是半定量分析,和元素的实际含量会有出入

PS:XPS是一种典型的表面分析手段,用于定性及半定量分析,测试得到的仅是样品表面几百甚至几 十um大小,几个nm深度的样品信息,不代表样品整体性质

问题二:样品中,某元素窄谱曲线不光滑,峰刺较多,或没有测出该元素?

1.元素含量比较低

2.样品分布不均匀,所测试的光斑范围内,该元素含量较少

3.该元素不分布在样品表面,即不在XPS所测微区范围内

问题三:分峰后,某元素结合能位置不对?

1.确认下数据是否校正(我们给的数据,一般是没有校正的数据)

2.分析下化学环境对该元素峰本身造成的影响,某些化学环境会导致峰有正常的偏移

3.确认下分峰是否正确

问题四:元素的结合能测试范围和之前的不同,无法对比?

如果该元素的峰是完整的,可以自行截取至相同结合能范围进行对比,如果不影响分析也可以不进行截取

问题五:分峰后,对应价态的峰没有?

1,需要分峰后进行分析,并需确认分峰是否正确

2,全谱的能量很高,如果测不出来,可能是污染碳很高,或者测试深度范围内的含量太少(整体该价 态比较高,但是表面很少),一般是后者原因居多

问题六:所测2个元素的窄谱峰有重合,无法分峰?

可尝试测其中某一元素其它轨道峰,来避免与另一元素窄谱峰重合

问题七:数据中C、N、O元素含量比实际样品的高,或没有C、N、O但是测出来了?

1.样品吸附了空气中的污染物导致,在数据处理时,把非样品所含有的污染物的峰先分出来,剔除掉 ,再重新计算含量;

2.如果对这个要求较严,建议后期样品制备后抽真空密封保存,测试时选择手套箱制样并测试;如果 是非粉体样品,可选择刻蚀后测试

问题八:样品不含有这个元素,为什么全谱测出这个元素了(除CNO)?

1.样品理论上应该不含有,但是样品在处理过程中是有引入该元素的成分,在后续的处理过程没有完 全处理干净

2.待测试样品是在某种基底上测试的,但待测试样品量较少,测试到了基底

3.被同一批次的其他样品,或者有易挥发组分(如S、F),或者进行刻蚀后,污染了该样品表面

问题九:某元素含量很高大概 5%,测出来信噪比很差,而有的元素含量很低0.5%,测出来信噪比反而很好?

1.不同元素的主峰的灵敏度因子和检测限不一样;

2.样品分布不均匀

3.该元素不分布在样品表面,即不在XPS所测微区范围内


铄思百检测可提供X射线光电子能谱-XPS测试,检测服务,详情可联系测试工作人员。


关键词:X射线光电子能谱,XPS测试,检测服务,XPS常见问题

来源:铄思百检测