装配在SEM上的电子背散射花样(Electron Back-scattering Patterns，简称EBSP)晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大的发展，并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。该技术也被称为电子背散射衍射(Electron Backscattered Diffraction，简称EBSD)等。EBSD的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射。EBSD改变了以往织构分析的方法，并形成了全新的科学领域，称为“显微织构”——将显微组织和晶体学分析相结合。EBSD技术已经能够实现全自动采集微区取向信息，样品制备较简单，数据采集速度快，分辨率高，为快速定量统计研究材料的微观组织结构和织构奠定了基础，已成为铄思百检测对材料研究中一种有效的分析手段。
在扫描电子显微镜（SEM）中，入射于样品上的电子束与样品作用产生几种不同效应，其中之一就是在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上产生衍射。从所有原子面上产生的衍射组成“衍射花样”，这可被看成是一张晶体中原子面间的角度关系图。衍射花样包含晶系（立方、六方等）对称性的信息，而且，晶面和晶带轴间的夹角与晶系种类和晶体的晶格参数相对应，这些数据可用于EBSD相鉴定。对于已知相，则花样的取向与晶体的取向直接对应。
EBSD采集得来的一手数据是材料每个点的取向信息，铄思百检测通过分析软件对这个一手数据的处理，可以得到取向分布——织构信息，同一取向的点组成晶粒，取向大到一定地步，就判定为另一晶粒，因此，可以得到晶粒相关信息，晶粒大小，形状，圆度……判定晶粒的同时可以得到晶界，于是铄思百检测可以标出各种晶界；同时，一手信息是取向，那么取向差的信息也容易得到，取向差某种程度上反应应变，从而可以做出应力分析。
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关键词： 晶体 EBSD 衍射 铄思百检测