如何解决SEM图像的飘移问题

在做SEM扫描电镜测试时，经常有同学会问到，SEM测试时样品为什么会飘啊，针对此，铄思百检测小编整理了相关知识，希望能帮到各位同学

常见图像漂移问题有：

1、样品固定不牢固，或者样品太。因此样品大小要合适，并用导电胶固定牢固。

2、刚放入样品，开始观察时图像漂移较大，可等半小时左右在开始，图像漂移消除或减弱。

3、样品导电性差，荷电现象导致图像漂移不清楚，可降低电压或者样品表面喷金（碳）处理。

4、扫描电镜对中不好导致聚焦过程中图像移动。

5、高倍观察时，环境振动也会导致图像漂移或者浮动。

接下来我们来看看在实际操作中遇到的一些问题

1、做SEM的时候，放大率为80kX，图像总会自己移动，调焦、象散、aperture也都调到最优了。

答：如果是绝缘衬底，贴导电胶的样品，肯定是导电胶没有贴牢，拿出来重新贴好就解决了.

2、在测试SiO2纳米粒子的时候，SEM图出现严重的漂移现象，倍数大的时候粒子也会有变形。这是什么原因呢？是导电性差和真空度不够导致的吗？测试的时候没有喷金，真空度10^-3。

答：因为样品不导电所致，在不影响形貌的情况下，这种情况建议喷金或者喷铂处理再去做扫描。硅是半导体，二氧化硅不掺杂的情况下不导电。样品分散在导电胶上喷金处理即可。即使喷金可能还是有点，记得拍照的时候，扫速快一点即可。

3、在拍高倍SEM电镜的操作中，发现聚焦的时候聚焦区域的图像在漂移且很难调清晰，样品为无机不导电材料，需喷金一次，是不是跟喷金过程的好坏有关？

答：首先，样品一定要粘紧，如果是较细小的颗粒，可以用平整的东西压一下。样品导电不好的话也很容易造成图像漂移，建议将样品铺成很薄的一层，尽量在单层样品区域拍照。还有就是先喷碳后喷金，尽量增强样品的导电性，但是也不易过多，避免遮挡样品表面形貌。

4、做SEM拍照的时候为什么图像会飘逸啊，还有就是喷金属的时候，是铂金好还是黄金好，

答：一般是因为备样时炭胶没有粘牢固，或者样品导电性不好；喷金，是用来提高样品导电性的，一般是Pt，很少用Au；另外也可以选择镀碳来增加导电性。

        以上就是铄思百检测小编对"如何解决SEM图像的飘移问题"相关资料的整理，如有测试需求，可以和铄思百检测联系，我们会给与您最准确的数据和最好的服务体验，希望可以在大家的科研路上有所帮助。

温馨提示

1、不定期推出各种优惠活动，详情咨询客服。

2、测试前联系在线客服确认测试条件、检测费用、检测周期等。

检测咨询热线：15071040697   黄工QQ：82187958

公司网站：www.sousepad.com

武汉铄思百检测技术有限公司