1、XPS样品怎么制备：

粉末制样

§   压片

§   粘到双面胶带上

§   分散到挥发性有机溶剂中，形成悬浊液滴到硅片等固体基片、金属箔或滤膜、海绵等基底上

纤维细丝（网）样品

§   缠绕或压在架子或回形针上，或样品台的孔中央，分析区域内纤维丝悬空，避免基底元素干扰分析结果；

§   包裹在有孔的铝箔中，用小束斑XPS分析孔内样品；

液体、膏状样品

§   滴到Si片、聚乙烯/聚丙烯、金属片、滤膜、树脂、海绵等固体基片上晾干或冷冻干燥

2、H和He为什么不能测XPS

主要原因有三点：

1) H和He的光电离界面小，信号太弱；

2) H1s电子很容易转移，在大多数情况下会转移到其他原子附近，检测起来非常困难;

3) H和He没有内层电子，其外层电子用于成键，H以原子核形式存在。所以用X射线去激发时，没有光电子可以被激发出来。

3、什么是荷电校正，如何进行荷电校正

XPS分析中，样品表面导电差样品表面导电差，或虽导电但未有效接地。此时，当X射线不断照射样品时，样品表面发射光电子，表面亏电子，出现正电荷积累（XPS中荷正电），从而影响XPS谱峰，影响XPS分析。在用XPS测量绝缘体或者半导体时，需要对荷电效应所引起的偏差进行校正，称之为“荷电校正”。

最常用的，人们一般采用外来污染碳的C1s作为基准峰来进行校准。以测量值和参考值(284.8 eV)之差作为荷电校正值(Δ)来矫正谱中其他元素的结合能。

具体操作：1) 求取荷电校正值：C单质的标准峰位(一般采用284.8 eV)-实际测得的C单质峰位=荷电校正值Δ；2)采用荷电校正值对其他谱图进行校正：将要分析元素的XPS图谱的结合能加上Δ，即得到校正后的峰位（整个过程中XPS谱图强度不变）。将校正后的峰位和强度作图得到的就是校正后的XPS谱图。

4、磁性元素对XPS有没有影响

有，磁性样品最好进行退磁、消磁处理也可在测试中采用磁透镜模式或静电透镜模式

5、XPS表征的是样品的表面还是体相？

表面10nm以内。

6、XPS中，价带谱是什么？

计算价带位置，及能带中电子态密度随能量的分布

7、Mg靶与Al靶的区别？

能量不同，分辨率不同，Mg靶分辨率高，Al靶能量高。

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