俄歇电子能谱仪的基本原理是什么呢？今天铄思百检测小编整理了相关资料，希望能帮到大家

俄歇电子能谱仪（AES）的原理

俄歇电子能谱仪(Auger ElectronSpectroscopy简称AES)，俄歇电子能谱仪基本原理是,在高能电子束与固体样品相互作用时,原子内壳层电子因电离激发而留下一个空位,较外层电子会向这一能级跃迁,原子在释放能量过程中,可以发射一个具有特征能量的 X 射线光子,也可以将这部分能量传递给另一个外层电子,引起进一步电离 ,从而发射一个具有特征能量的俄歇电子。检测俄歇电子的能量和强度,可以获得有关表层化学成分的定性和定量信息。

对于一个原子来说,激发态原子在释放能量时只能进行一种发射：特征X射线或俄歇电子。原子序数大的元素，特征X射线的发射几率较大，原子序数小的元素，俄歇电子发射几率较大，当原子序数为33时，两种发射几率大致相等。因此，俄歇电子能谱适用于轻元素的分析。

如果电子束将某原子K层电子激发为自由电子，L层电子跃迁到K层，释放的能量又将L层的另一个电子激发为俄歇电子，这个俄歇电子就称为KLL俄歇电子。同样，LMM俄歇电子是L层电子被激发，M层电子填充到L层，释放的能量又使另一个M层电子激发所形成的俄歇电子。

俄歇电子能量

俄歇电子能谱仪（AES）的应用

• 表面清洁

• 表面吸附和反应

• 表面扩散

• 薄膜厚度

• 界面扩散和结构

• 表面偏析

• 摩擦润滑

• 失效分析

• 电子材料

• 核材料

• 催化剂

• 纳米材料研究

制样要求

1.样品最好导电；

2.表面小于5mmX5mm，高度小于2mm；

3.请注明样品是否具有导电性; 请注明所要测试的高分辨元素；

4.寄样前请真空密封样品，降低空气中的污染物对表面测试的影响。

常见问题