一、SEM检测的工作原理

SEM扫描电镜是一种介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观观察手段，能够直接利用样品表面材料的物质性能来进行微观成像。其原理是当具有一定能力的电子束轰击样品表面的时候，电子与物质元素的原子核以及外层的电子产生了单次或者多次的碰撞，一些电子反射出样品的表面，而一部分则渗入样品中，被样品所吸收。在该过程当中，大部分的电子能量会转换成样品热能，而剩下的则会在其中激发出各种信号。

二、SEM测试可以测什么？

SEM检测可应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过组合EDS使用，可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

三、SEM样品的要求

1. 样品要求：粉体需5mg左右；块体长宽高需小于10mm（超出该尺寸请提前联系技术顾问确认，镶嵌样及多孔材料抽真空时间较长，尺寸尽量小一些，非特殊原因请务必按要求制样，以免耽误测试效果及周期）；

液态或粘稠样品务必烘干寄样，如电子束照射下流动变形，则无法拍摄；

2. 关于喷金：导电性差及磁性样品为保证拍摄效果，建议喷金（为避免能谱测试元素干扰请选择合适的电极类型）；

3. 关于制样：拍摄截面请尽量提前制备截面，软质且较薄的材料可使用液氮脆断，硬质材料或厚度大的建议直接掰断或敲断即可，液氮脆断不适用；纳米粉末容易团聚，请选择合适的分散溶剂及超声时间；

4. 能谱测试需要原始形貌图及原始数据的，请备注；

5. 不同设备的倍数有一定区别，为保证得到满意的效果，请提供形貌参考图及能谱位置说明，如无类似参考，请尽量文字详细描述需求；

6.磁性说明：含铁、钴、镍、锰等磁性元素均视为磁性样品（吸铁石能吸起来为强磁，吸铁石吸不起来为弱磁）。

若样品有磁性，务必备注清楚；若隐瞒样品实际信息，导致设备损坏，需承担全部赔偿责任；

7.特别注意：测试过程中老师会根据要求和样品实际情况尽力拍摄，但无法保证一定拍到理想形貌；常规倍数可达5w-10w，最大20w倍，但实际效果和样品性质有关，若样品有磁性或导电性差，高倍下不能保证好的效果，敬请理解！

8.如有其他疑问，请联系前期对接的技术顾问；

温馨提示

1、不定期推出各种优惠活动，详情咨询客服。

2、测试前联系在线客服确认测试条件、检测费用、检测周期等。

检测咨询热线：15071040697    黄工QQ：82187958

公司网站：www.sousepad.com   武汉铄思百检测技术有限公司

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