扫描电子显微镜能谱仪（Scanning Electron Microscope Energy Dispersive System，简称SEM-EDS）通过将扫描电子显微镜（SEM）和能谱（EDS）组合在一起，是一种对药物或材料等成分进行分析的组合检测设备，即能观察样品的表面形貌又能对微区进行成分分析。SEM-EDS可以进行各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸，晶体、晶粒取向测量等。SEM-EDS已经成为形貌分析领域不可或缺的一种技术手段，广泛用于材料、化学、生物医学、地质等领域。

今天铄思百检测小编整理一些关于SEM的相关问题，希望能帮到大家。

1、金相样品是否需要腐蚀，不腐蚀不利于观察各个相的形貌，腐蚀样品是否影响能谱测试准确性？

答：金相样品肯定需要轻微腐蚀，或者通过FIB离子建设，不然很难看到很好的金相结构。当然腐蚀肯定不能腐蚀过，只能说轻微腐蚀，腐蚀太过肯定会影响能谱测试。

2、EDS分析的时候，物镜光阑越大越好吗？

答：不能这么说。如果样品是块体，区域比较大，不存在打到其他地方。镀层比较大，这个时候光阑大没关系。但如果镀层很薄，光阑大，速流就会大，涉及的范围就会大一些。所以，对EDS测试来说，不是光阑越大越好。

3、C、N、O元素能谱能分析到什么程度？

答：C、N、O元素的检测限可达到0.1%，H元素高于0.1%。

4、做表面元素分析，什么时候选AES，什么时候选EDS？

答：通常测试表面成分的有4种设备，分别为SEM-EDS、AES、TOF-SIMS、TEM-EDS。SEM-EDS打的比较深，属于无机物分析，样品需要导电。AES也是无机物分析，样品需要导电，但打的浅，样品表面几个纳米成分的可以选。TOF-SIMS有机无机都可以测试，并且样品导不导电都行，也是样品表面几个纳米成分。TEM-EDS与SEM-EDS一样，打的比较深，可制作薄片，分辨率更高。

5、导电性不好的粉未颗粒在加速电压5kV时进行拍摄，在进行放大倍数的增加时，会有小颗粒漂浮到大颗粒上面，怎么拍好?而且荷电效应影响也挺大的。

答：如果说会有小颗粒漂浮到大颗粒上面，说明两个问题，一荷电效应，二样品没备牢。既然都已经选择了5kv，那说明你不在乎是否对样品进行coating，如果不在乎的话，为什么不再镀厚点呢？样品没备牢，说明你样品太厚了，你试着再把样品制备的薄一点，或者尽量选薄的地方去拍图。

6、拍背散射电子工作距离选多大?

答：如果说想要更纯的BSE，建议选择wd 8以上。如果同时还想看形貌信息，这个时候wd尽量小点，3左右。

7、AES和XPS的区别是什么？

答：X光电子能谱法（XPS）是一种表面分析方法，提供的是样品表面的元素含量与形态，而不是样品整体的成分。其信息深度约为3-5nm。固体样品中除氢、氦之外的所有元素都可以进行XPS分析。俄歇电子能谱法（AES）的优点是在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高；数据分析速度快；能探测周期表上He以后的所有元素。

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