TEM可以测薄膜样品吗？TEM是可以测薄膜样品的。
今天铄思百检测小编带大家来详细了解多种TEM制样方法。
透射电子显微镜（Transmission electron microscope, TEM）是使用最为广泛的电子显微镜之一，和扫描电子显微技术共同组成了电子显微学的“两大支柱”。TEM测试原理采用通过试样电子成像并分析其结构，因电子穿透能力弱，试样厚度，导电性，磁性及分散性等性质直接影响测试结果。所以，透射电镜制样比扫描电镜制样要复杂、精细得多，对不同材料应按其性质而采取适当方法。
TEM测试的载样工具介绍
TEM常用的载样工具制成杆状，称样品杆，针对不同的测试需求有不同的样品杆（图1），样品搭载在支撑网（通常是铜网）里并放在样品杆前端，每个样品杆最多只能放1~2个铜网。采用样品杆载样具有载样工具体积小，占用空间亦少，可布置于物镜内上部，利于电镜分辨率提高等优点。缺点是无法一次投入过多的样品网，换样时必须打破一次样品室内真空，且效率低下。
图1 TEM样品杆 【图片来自网络】
支撑网主要有超薄碳膜、微栅铜网、纯碳膜、双联载网支持膜等，金属支撑网的材质有多种，如Cu、Ni、Be、尼龙等，选择时要注意选择成分有别于待分析样品的支撑网。
TEM样品要求
TEM的放大倍数高、观测范围有限、敏感度高，因此为了获得清晰、准确、稳定的信号，对TEM的样品要求也很高。
TEM的样品种类分为粉末试样、薄膜试样、表面复型和萃取复型。
①粉末式样：主要用于粉末材料的形貌观察、颗粒度的测定及结构与成分分析等；
②薄膜试样：样品内部的组织、结构、成分、位错组态和密度、相取向关系等；
③表面复型和萃取复型：金相组织观察、断口形貌、形变条纹、第二相形态、分布和结构等。一般而言，TEM的样品要求如下：样品一般应为厚度小于100 nm的固体；样品在电镜电磁场作用下不会被吸出，附于极靴上；样品在高真空中能保持稳定；
④ 不含有水分或其它易挥发物，如果含有水分或其他易挥发物的试样应先烘干。
TEM测试注意事项
1，粉体、液体、可测试，薄膜或块状样品不能直接拍摄，需另行制样（如离子减薄、包埋切片、FIB等）；
2，样品的厚度不超过100nm，如果颗粒稍大一点，可适当研磨至100nm以下（可先拍SEM判定颗粒大小）；
3，一般制样选微栅铜网即可，如果颗粒直径小于10nm用超薄碳膜制样；样品含Cu，需要拍EDS能谱和mapping可选镍网或者钼网等；
样品为片状，或者大于几十纳米，看高分辨可以用微栅（微栅没有衬底，中间是空心）；
样品若小于10nm不建议用微栅，因为会捞不上样品；
量子点或小颗粒10nm，只能用超薄碳膜，相对衬度不是很好；mapping要做C元素，用微栅，要求片状样品刚好在铜网孔的中间，在孔边缘也是会有碳膜存在，因为微栅骨架上也有碳膜在；
总结：TEM是可以测薄膜样品的，前提是需要进行制样。
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