xps可以做半定量分析，其中一个很重要的参数就是灵敏度因子RSF，今天铄思百检测小编将介绍如何查询灵敏度因子。

查询灵敏度因子前，我们首先需要知道灵敏度因子有两种，一种是wagner，为实验灵敏度因子数据库，基于F1s=1，即在能谱仪上真实测量大量已知化合物并计算出相对灵敏度因子，一种是scofield，称为理论灵敏度因子数据库，基于C1s=1，定义是一定量的光子作用到样品上后产生光电子数目的一个相对计算值。

对于常见的xps仪器，thermo（对应软件avantage）和1995年前的岛津的仪器（casaxps有对应的谱库）用的是scofiled灵敏度因子，PHI公司（对应软件multipak）和1995年以后的岛津仪器（escape）的仪器用的是wagner灵敏度因子，所以在定量计算时，一定要拿到原始格式的数据.

而且一定要查看相应的手册，确定灵敏度因子等参数的实际意义，避免不必要的错误，在定量计算时，尽量选择测试仪器自有的软件，因为他们内置了相应的灵敏度因子、传输系数等参数。刚才我们也讲了，casaxps自带了多种灵敏度因子数据库，如果实在没有原始格式的数据，或者原始格式对应的软件安装不了，也可以退而求其次使用casaxps分析，只要选择对对应的灵敏度因子数据库即可，这个如果有需要，我们之后会讲。这个办法只是退而求其次的办法，并不如原始数据对应的分析软件来的靠谱，因为每个公司在scofiled和wagner灵敏度因子的基础上，做了相应的优化和调整，计算出的数据也会和casaxps没有经过优化的不一致，这是正常现象。当然，phi的spe格式和岛津的vms相互转换后互换软件差异不会很大，因为都是wagner灵敏度因子，但是也不建议这么操作，也是刚才说的原因。

第一种办法是查询手册，后台回复结合能获取的手册翻到最后就可以看到灵敏度因子的数值表，这个基于wagner的灵敏度因子；

第二种办法，双击打开casaxps，点击options-elements，在元素谱库内即可看到各轨道的灵敏度因子，这是scofield灵敏度因子；

第三种是multipak内置的数据库，双击打开安装好的软件，右侧的元素周期表，找到需要查询的元素，shift+鼠标左键，即可弹出对应元素的灵敏度因子；

第四种是avantage内置的数据库，左侧打开谱库，即可看到灵敏度因子数值，可以找到各种类型的灵敏度因子；

第五种是wagner发表的论文，有兴趣可以点击搜索查看

‍https://analyticalsciencejournals.onlinelibrary.wiley.com/doi/epdf/10.1002/sia.740030506

-END-

本公司位于湖北武汉，从事检测行业十多年，专业提供XPS、ICP、SEM+EDS/SEM云视频 TEM+EDS/TEM云视频、XRD、AFM、BET、TG-DSC、粒度、Zeta电位、RAMAN、顺磁、核磁、荧光等测试服务。我们一直致力于为高校、科研院所、企业提供一站式专业测试服务。欢迎各行各业咨询！欢迎开展科研项目合作、科研经费报销合作等。长期合作价格优惠。

温馨提示

1、不定期推出各种优惠活动，详情咨询客服。

2、测试前联系在线客服确认测试条件、检测费用、检测周期等。

检测咨询热线：15071040697(手机同微信）   黄工QQ：82187958

公司网站：www.sousepad.com   武汉铄思百检测技术有限公司

做XPS刻蚀测试一个样品多少钱？扫描下方二维码获取详细报价

来源：知乎|研之有术