XPS刻蚀是什么意思？有同学经常做XPS测试，却不太清楚XPS刻蚀是什么意思，今天武汉铄思百检测小编带大家详细了解一下XPS刻蚀。我们先来了解一下XPS。

X 射线光电子能谱( X-ray photoecectron spectroscopy， XPS) 技术是一种通过一束入射到样品表面3~10nm 深度的光子束，检测材料表面信息的无损测量技术。XPS 技术能很好地使样品保持其原有的结构信息，可用于定性和定量分析材料表面的元素组成和含量，以及分析元素的化学价态、化学键 等信息。

那XPS刻蚀是什么意思呢？

XPS刻蚀原理介绍：XPS就是单原子深度剖析，利用离子束刻蚀表面层或者表面污染层，从而获取亚表层信息。 XPS 分析与一系列离子枪循环刻蚀结合，得到定量信息和厚度信息。 将物质从样品上剥离之前，记录下样品表面的能谱或一组能谱。 离子束在样品表面一个正方形或矩形区域内作光栅式扫描，刻蚀表面。 经过一次刻蚀循环后，遮挡住离子束，记录下一组能谱。 如此重复刻蚀、能谱采集，直到剖析到所需深度。

XPS刻蚀是什么意思，XPS刻蚀有什么作用呢？

由于样品本身的层状结构如镀膜、氧化和钝化等原因导致其在深度方向上化学状态的差异。前面提到的非破坏性方法仅限于检测物体表面1~10nm内的组分变化，但为了获得大于10nm深度的信息，必须在XPS设备的分析室用惰性气体离子轰击，对样品表面进行刻蚀。

XPS刻蚀深度剖析主要是研究元素化学信息在样品中的纵深分布。通过利用氩离子枪对样品表面进行氩离子溅射剥离，控制合适的溅射强度及溅射时间，将样品表面刻蚀到一定深度，然后进行取谱分析。为了获得准确的溅射深度，一般采用与被测样品相近或相同的厚度标准物质校准溅射速率，从而根据溅射时间计算得到校准后对应元素分布的溅射深度。

为了避免刻蚀采用的离子束与被测样品的相互作用，得到高质量的深度剖析测量结果，刻蚀必须在高真空下进行。刻蚀和取谱交替操作，便可得到样品化学信息随深度的变化规律，极大地扩展了 XPS的检测范围。

XPS刻蚀是什么意思？

简单来说就是：xps测试深度是纳米级别的，所以可以结合溅射去除表面氧化，刻蚀样品表面，得到深层的有效信息。

图为XPS刻蚀的数据图谱

-END-

本公司位于湖北武汉，从事检测行业十多年，专业提供XPS、ICP、SEM+EDS/SEM云视频 TEM+EDS/TEM云视频、XRD、AFM、BET、TG-DSC、粒度、Zeta电位、RAMAN、顺磁、核磁、荧光等测试服务。我们一直致力于为高校、科研院所、企业提供一站式专业测试服务。欢迎各行各业咨询！欢迎开展科研项目合作、科研经费报销合作等。长期合作价格优惠。

温馨提示

1、不定期推出各种优惠活动，详情咨询客服。

2、测试前联系在线客服确认测试条件、检测费用、检测周期等。

检测咨询热线：15071040697(手机同微信）   黄工QQ：82187958

公司网站：www.sousepad.com   武汉铄思百检测技术有限公司

做XPS刻蚀怎么收费？扫描下方二维码获取详细报价