2023-12-19
铄思百检测
扫描电镜样品制备方法是什么？经常有同学做SEM扫描电镜测试，但是却不知道扫描电镜样品制备要求和方法，针对此，铄思百检测小编整理了相关资料，希望能帮到大家。
先来了解一下扫描电镜SEM对样品的要求
一、扫描电镜SEM介绍：
扫描电子显微镜（SEM）是利用二次电子和背散射电子信号，通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的一种分析仪器，随着科学技术水平的提高，其放大倍数 可达几十万倍，分辨率可达纳米级别，是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。
二、扫描电镜SEM可做测试项目：
形貌、能谱点扫、能谱线扫、能谱面扫（mapping）；可镀金，非磁、弱磁、强磁样品均可拍摄。
1、形貌：仪器放大倍数范围是100倍-20W倍，常规样品可以拍摄到8-10W倍，导电性不好或磁性样品大于8W倍可能会不清晰。
2、能谱：SEM能谱一般只能测C（含C）以后的元素，（B元素也能做，但是不准，不建议做）如果需要打能谱，需要备注好测试位置以及能谱打哪些元素，需要注意的是制样时待测元素不能与基底成分有重合，如果要测C元素，样品不要分散到含C的基底上，可以分散到硅片，锡纸上，如果要测Si元素，注意不要制样到硅片上。
2、能谱：SEM能谱一般只能测C（含C）以后的元素，（B元素也能做，但是不准，不建议做）如果需要打能谱，需要备注好测试位置以及能谱打哪些元素，需要注意的是制样时待测元素不能与基底成分有重合，如果要测C元素，样品不要分散到含C的基底上，可以分散到硅片，锡纸上，如果要测Si元素，注意不要制样到硅片上。
3、镀金：为了保证拍摄效果，一般导电差或者是强磁性的样品都需要镀金之后进行拍摄。
非磁、磁性（弱磁、强磁）定义：
含铁、钴、镍、锰等磁性元素均为磁性样品，吸铁石能吸起来为强磁，吸铁石吸不起来为弱磁。
备注：磁性分硬磁和软磁，有些材料对外不表现磁性，但加磁场后容易磁化，受热后磁性增强。
三、扫描电镜SEM对样品的要求：
1、粉末、液体、薄膜、块体均可。粉末10mg，块体样品直径≤1cm，厚度＜1cm，样品质量不超过200g;
2、混凝土，珊瑚沙，气凝胶，水凝胶，木材等需要抽真空时间非常长的样品尺寸请尽可能直径≤5mm，厚度≤5mm;
3、 需要脆断的样品，尺寸需要≥2*2cm，厚度＜0.5cm，较厚的样品建议尺寸准备大些;
4、导电性不好或强磁样品建议选择喷金。
四、扫描电镜样品制备方法：
1、块体样品：直接用导电胶粘在样品台上测试，若需拍块体/薄膜截面，需明确截面制备方法，一般可以提供剪刀裁剪和液氮脆断两种方式；
2、液体样品：用移液枪取样品超声后的悬浊液，滴一滴于硅片或锡纸上，自然风干/红外灯烘干，烘干后将硅片或锡纸用导电胶粘在样品台上测试；
3、粉末样品：（1）直接用导电胶粘在样品台上测试；（2）乙醇分散制样：取少量样品于离心管中，加入 一定量无水乙醇（或水），室温超声 5-10min，随后采用 2 中液体的制样方式制样测试。