SEM测试步骤是什么？今天铄思百检测小编整理了一些资料，希望能帮到大家。

一、扫描电镜SEM样品准备流程

1.制载样片：将硅片用玻璃刀剪切至正方形5mm*5mm大小，整齐，均匀

（此为样品测试负载载体）。

2.样片清洗：将剪切好的硅片至于EP管，加入少量无水乙醇淹没硅片，进行超声清洗2-3次，自然沥干。

3.样片放置：将清洗完成的硅片至于六孔培养基，每孔一个，标记样片序号！

4.样品稀释：将样品稀释（根据样品性质选择适宜溶剂，水或醇作为稀释液）

5.样品点涂：吸取少量稀释后样品点于硅片，呈半透明状即可，记录样品序号！

6.样品烘干：将六孔培养基整体开盖置于烘箱上层或自然风干

二、扫描电镜SEM样品上机流程

7.样品贴样：根据样品数量取导电胶贴于样品台，依次贴样使其呈紧凑有序状，记录样品顺序，导电胶放置顺序！

8.样品喷金：提前联系实验员进行喷金，到预约时间请实验员换样上样，登录账号，调试仪器真空情况。

三、扫描电镜操作流程

9.检查样品制备是否按照规范做好；

10.主界面-右上区域-Beam Control-Vent-样品仓放真空

11.样品仓放真空结束，开仓放入新制备样品，记录此时电板、胶及样品位置！

12.调试样品台高度，关仓轻推。主界面-右上区域- Beam Control-Pump-抽真空

13.确认样品仓真空环境达成。主界面-右区域-Column-Beam On-打开电子束流

14.鼠标左键点击工作窗口（左上）-Start Image Acquisition-激活-调节图像

15.通过反复调节必要的放大倍率、加速电压、光斑、明暗、对比度、聚焦得到所需图像，常规操作指令：

①□1状态，100X倍率，按住滚轮拖动鼠标寻找边缘样品；

②□1状态，双击左键定位目标区域；

③□1状态，按住右键左右全视角拖动，重新对焦；

④□1状态，注意，找到目标放大至10000X时，点击上方换二倍镜；

⑤□1状态，注意，对焦后，单击右上角，切换 □4状态扫描拍照；

⑥□4状态，注意，扫描时禁止继续操作，待左边绿色基线扫描至最下端，Save as 进行保存，注意命名序号；

⑦□4状态，保存后先点击右上角切换 □1状态，再缩小至9800X换一倍镜，再缩小找其他目标（注意下调一倍镜）；缩小至100X可看到□硅片，换样；

17.电镜结束点击Pause Image Acquisition冻结窗口，点击Beam off，关闭CIV阀

18.主界面-右上区域-Beam Control-Vent-样品仓放真空，撤样，关仓，抽真空。

-END-

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