TEM透射电镜用来做什么?针对这个问题铄思百检测小编将详细介绍一下。
先来了解一下什么是TEM透射电镜?

一、TEM透射电镜简介
透射电子显微镜是利用波长较短的电子束作为照明源,利用电磁透镜进行聚焦成像的高分辨本领和高放大倍数电子光学仪器。透射电子需要穿过样品内部,因此要求样品不能太厚。TEM透射电镜可以用来观察样品微观形貌、晶格像或结构像、缺陷、位错、第二相粒子等。
透射电镜的不同工作模式源于电子与样品发生作用时,通过样品的电子具有不同状态,有直接透过的电子束,也有发生散射偏转的衍射束。

在物镜的背焦面处插入一个尺寸足够小的物镜光阑,只让透射束通过光阑孔成像,阻挡衍射束;此时,直接有样品处会被阻挡,透射束信号较少,而没有样品处信号更强,呈现“明场”。
由于存在样品的地方衍射束信号更强,而没有样品处衍射束信号若,呈现“暗场”。
①离轴暗场像:平移物镜光阑,使光阑孔套住hkl斑点而把透射束挡掉,只让单个衍射束成像,离轴暗场像质量差,物镜的球差限制了像的分辨能力;
②中心暗场像:为了消除物镜球差的影响,借助于偏转线圈倾转入射束,使衍射束与光轴平行,然后用物镜光阑套住位于中心的衍射斑所成的的暗场像;中心暗场像能够得到较好的衬度的同时,还能保证图像的分辨率不会因为球差而变差。

根据由于样品原子序数不同导致的散射角度不同,对不同角度信号进行收集得到。HAADF、MAADF、LAADF图像分别对应高角度、中角度以及低角度散射电子像。
其中,Z衬度像(Z-contrast)为非相干的相位衬度像;采用高角环形检测器收集扫描透射电子显微镜(STEM)的衍射模式下的高角度漫散射电子成像;
本质上是一种散射吸收衬度,即衬度是由散射物不同部位对入射电子的散射吸收程度有差异而引起的,它与散射物体不同部位的密度和厚度的差异有关,通过物镜光阑的透射电子数目不同,引起电子束强度差异,形成衬度。散射本领大、透射电子数少的样品部分所形成的像要暗些,反之,是亮些;
由于电子束在物质中也会发生衍射(类比XRD),降低中间镜电流,上升中间镜物平面至物镜背焦面,得到电子衍射花样。从衍射花样中可以得到样品丰富的晶体学参数、厚度、晶体类型等信息。
二、TEM透射电镜用来做什么?
TEM透射电子显微镜广泛应用于材料科学、生命科学、医疗、制药、半导体、纳米技术等领域,可对显微形貌、晶体结构和相组织进行观察与分析,对材料微区化学成分定性和半定量检测,对复合材料界面特性进行研究等。
TEM透射电镜主要功能及用途如下:
1)普通(高分辨)透射成像模式:可以用来观察样品的形貌和物相分布,高分辨像可用于确定材料的晶体结构,观测微量相的分布、晶体缺陷及界面结构等;
2)电子衍射模式:主要用于物相、晶体结构研究,可进行选区电子衍射、会聚束电子衍射等;
3)STEM模式:具有0.16nm的高分辨率,1.5亿倍的超高放大倍率,主要用于形貌及结构的观察与分析。包含BF/DF/HAADF等成像探头;
4)EDS能谱:主要用于材料的化学成分的定性、定量及面分布等分析;
5)EELS电子能量损失谱:用于材料的成分分析,对于轻元素(B、C、N、O等)的分析更为有效,可以和能谱相互补充,同时可以对元素的价态进行检测和分析;
6)多孔样品杆:可一次放入3个待测样品,节省更换样品的时间;
7)低温双倾样品杆:通过液氮对样品进行降温,冷却温度可达-160℃,可用于对辐照敏感的样品和须在低温环境下观测的样品;
8)原位力热耦合样品杆(双倾):可对样品进行微区加热,最高温度可达815℃,同时亦可根据需要对样品进行拉伸、压缩、弯曲纳米压痕等,最大驱动力≥100mN,最大驱动行程≥4μm,对样品原子尺寸的精准驱动;此样品杆用于观测在变温或者受力过程中材料结构发生转变的原位实验,可实时观察和记录其动态变化。
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