1.什么是聚焦离子束双束电镜？

在扫描电镜平台上增加了离子束，既有电子束又有离子束，称为双束电镜。

FIB全称：聚焦离子束(Focused Ion Beam, 简称FIB)是一种高科技科研设备，主要用于纳米级别的加工和表面成像。

2.FIB-SEM双束电镜的用途有哪些？

2.1 TEM样品制备；

2.2 剖面分析；

2.3 微纳图案加工；

2.4 三维原子探针样品制备；

2.4 三维重构；

3.Ga离子束辐照等。

离子束有哪些种类？

常见1种，Ga。 FIB下单链接：https://www.sousepad.com/fib.html#

4.沉积源有哪些？

常见4种：Pt、W、SiO、C。

5.为什么要沉积保护层？

保护目标区域不被离子束破坏。

6.TEM取样方向和大小如何?

一般默认是垂直于样品表面取样，大小3-5um左右，厚度50-100nm左右。

7.制备好的TEM样品放在哪？

样品薄片焊接在在FIB专用的半圆形铜环的柱子上。

8.制备好的TEM如何包装？

FIB专用的高弹膜盒包装。

9.为何会将晶体变成非晶？

离子束轰击样品切割，原子的碰撞以及局部的温度上升会破坏晶体结构，无序度变大。

10.如何减少非晶层？

减薄后，用低剂量离子束慢慢清洗薄片表面。

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积源常见4制备好的TEM如何包装？种：Pt、W、SiO、C。有哪些？