光学轮廓仪的作用

2024-05-29
铄思百检测

光学轮廓仪的作用是什么?光学轮廓仪是基于白光干涉原理而研发生产的,能以非接触的方式,无损检测精密机械加工表面,检测结果以3D数据地图的方式显示,能直观地展示了表面纹理特征。比如在材料科学研究,新型材料制备等方面有着广泛应用(如测量材料基体和镀膜后表面形貌和粗糙度,测量材料的磨损性能等)。

光学轮廓仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器,所以也叫白光干涉仪。它是一种对光在两个不同表面反射后行程的干涉条纹进行分析的仪器。基本原理式通过不同光学元件行程参考光路和检测光路。

光学轮廓仪是通过观察物体表面对光线的反射成像,进而计算出物体表面的形状和粗糙度。而白光干涉仪则是利用光的干涉现象来测量物体表面的形态和精度。


光学轮廓仪的作用和应用

可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中,测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

结果组成:

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。