台阶仪,膜厚仪,探针接触式轮廓仪,3D轮廓仪
美国KLA-Tencor D-120
1、薄膜、涂层厚度测量; 2、台阶高度测量; 3、表面粗糙度测量; 4、2维薄膜应力测量; 5、平坦度、波纹度、曲率测量; 6、表面轮廓(缺陷、形貌等)测量。
可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、材料等领域实现纳米
级别表面二维形貌测量。垂直分辨率最大1A;垂直范围0-1mm;
单次扫描长度范围小于55mm。
长宽小于30mm,厚度小于20mm,
1.可开正规测试发票,附带测试清单。
2.有腐蚀性,毒性,或其他有危害性等特殊样品要事先告知测试人员,测试人员也要告知样品方哪些样品不能测或会对仪器产生损伤,测试后会对样品产生哪些变化;
3.客户需提供详细的样品资料,包括元素,主要成分和详细测试参数及条件。和测试人员充分讨论,商定最终测试条件;
4.测试人员与顾客通过QQ或邮件沟通,出现测试纠纷,邮件或聊天记录将作为重要的仲裁依据;请加QQ和技术人员交流:82187958。
5.杜绝测试、解析和合成违反国家相关法律法规的样品,一经发现将追究其法律责任。