台阶仪-膜厚仪-探针接触式轮廓仪-3D轮廓仪

台阶仪-膜厚仪-探针接触式轮廓仪-3D轮廓仪

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台阶仪-膜厚仪-探针接触式轮廓仪-3D轮廓仪

  • 产品详情
仪器名称:

台阶仪,膜厚仪,探针接触式轮廓仪,3D轮廓仪

型    号:

美国KLA-Tencor D-120

检测项目:

1、薄膜、涂层厚度测量; 2、台阶高度测量; 3、表面粗糙度测量; 4、2维薄膜应力测量; 5、平坦度、波纹度、曲率测量; 6、表面轮廓(缺陷、形貌等)测量。

应用范围:

可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、材料等领域实现纳米

级别表面二维形貌测量。垂直分辨率最大1A;垂直范围0-1mm;

单次扫描长度范围小于55mm。

制样要求:

长宽小于30mm,厚度小于20mm,

测试提示:

  1.可开正规测试发票,附带测试清单。

  2.有腐蚀性,毒性,或其他有危害性等特殊样品要事先告知测试人员,测试人员也要告知样品方哪些样品不能测或会对仪器产生损伤,测试后会对样品产生哪些变化;

  3.客户需提供详细的样品资料,包括元素,主要成分和详细测试参数及条件。和测试人员充分讨论,商定最终测试条件;

  4.测试人员与顾客通过QQ或邮件沟通,出现测试纠纷,邮件或聊天记录将作为重要的仲裁依据;请加QQ和技术人员交流:82187958。

  5.杜绝测试、解析和合成违反国家相关法律法规的样品,一经发现将追究其法律责任。