‍

仪器名称：X射线光电子能谱　　　　 　　　　　　　　　Multifunctionalimaging electron spectrometer

仪器型号：Thermo ESCALAB 250XI                                仪器缩写：XPS                        生产厂家：美国赛默飞世尔科技

测试项目：全谱、精细谱、价带谱、XPS深度蚀刻、微区成像、分峰分析常温，变温

　　样品要求

1)     粉末样品：需要10mg以上的干燥的粉末样品

2)     固体样品：任一边长不大于1cm，厚度不超过2mm

3)     液体样品：易干燥，需要收取制样费用

4)     薄膜样品：要备注标签测试面

5)     注意标注：样品有无磁性、毒性、挥发性、腐蚀性、放射性等信息

‍X射线光电子能谱仪（XPS）

简介：X射线光电子能谱仪，简称：XPS,是一种表面元素分析技术，可以提供元素的定性、半定量、化学成像、表面价态、深度剖析等信息。适用于化学、化工、高分子、材料、环境、生物、医学、药学、农学、地质、食品、生命科学等

XPS谱图中有哪些重要的谱线结构？具体是什么？
XPS谱图一般包括光电子谱线，卫星峰（伴峰），俄歇电子谱线，自旋-轨道分裂(SOS)等

a. 光电子谱线：每一种元素都有自己特征的光电子线，它是元素定性分析的主要依据。谱图中强度最大、峰宽最小、对称性最好的谱峰，称为XPS的主谱线。

实例说明二：上图为Mg阳极X射线激发的C1s主峰（α1,2）及伴峰（α3,4,5和β）。从图中可以看出，主峰的强度比伴峰要强很多。

b. 卫星峰（伴峰）：常规Ｘ射线源(Al/Mg Kα1,2)并非是单色的，而是还存在一些能量略高的小伴线（Kα3,4,5和Kβ等），所以导致XPS中，除Kα1,2所激发的主谱外，还有一些小的伴峰。

c. 俄歇电子谱线：电子电离后，芯能级出现空位，弛豫过程中若使另一电子激发成为自由电子，该电子即为俄歇电子。俄歇电子谱线总是伴随着XPS，但具有比XPS更宽更复杂的结构，多以谱线群的方式出现。特征：其动能与入射光ｈν无关。

d. 自旋-轨道分裂(SOS)：由于电子的轨道运动和自旋运动发生耦合后使轨道能级发生分裂。对于l＞0的内壳层来说，用内量子数j（j=｜l±ms｜）表示自旋轨道分裂。即若l=0 则j=1/2；若l=1则j=1/2或3/2。除s亚壳层不发生分裂外，其余亚壳层都将分裂成两个峰。